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超高纯电子特气系统中特气柜的主要组成部分

2020-11-07 10:36:21    责任编辑: 特气柜设计制造公司     0

WOFLY全自动特气柜(GC)是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供应而设计的特气设备,通过SEMI S2认证,基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断(当设定报警信号被触发时),主要用于安全稳定输送特种气体。



现在我们来认识一下开云电子 WOFLY特气柜上的一些主要组成部分:


1. 油路分配器阀源:寻常以GN2来采取的控制,不改进措施运用CDA(clean dry air),因GN2的制造模式较稳定的,不会令限电或转运系统出现故障而经常中断,此源是广泛用于重新或半重新的油路分配器阀件电源开关。

2. 自动把控阀:首要适用2、名道耐火板用作2、名次要确认或点检用,一样 于现货供应的气体的出来端。

3. 逆止阀(双向阀):处理特气倒灌到擦洗用的PN2(高纯氮)操作系统软件和抽气用的GN2(普氮)操作系统软件。

4. 调压阀:中用校准出售系统软件的出售学习压力。

5. 负荷感测器器:是预防体统中至关最重要的工件,穿过它.我就可以答案内部管道有没外泄,涉及到的阀件有没合适按钮开关,直接同样能检知液化气钢瓶的剩的量。

6. 进口真空呈现器:采用GN2飞速的流动呈现冲力,将管线中的有害气体排空,以到抽气的目地。 

7. 气物进行滤芯过虑器:通常在氧气瓶用于出口端会装较粗的进行滤芯过虑器,在出端会装较细的进行滤芯过虑器,有效果进行过虑气物中的粒子,进行滤芯过虑器较容易吹扫,,因此通常不建意装在常吹扫的压缩空气管道中。

8. 过手机国内流量侦测器:对管道阀门错误手机国内流量采取侦测,如果是突破快速设置值,即确定管道阀门上或者一大批氯气泄露,继而封闭供货体系关闭供汽。

9. 限流孔:就是一种筒易又有效率的过流量数据管控传动装置,以便制约丰富其他气味流经,一般的操作于出口贸易处,其注意妙用是禁止丰富的非常规其他气味排放,范围性的烟粉尘处置机不可处置的情况报告突发。



 

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