气体治疗是手工制造的时候中时不时被忽略但至关重点的主成一些，历史时间上四个嚴重的伤亡事故，不存在出现在不存在进行安装减少排放、排放排放治疗装备的化化工厂中。但现如今，排放排放治疗仍长长被化化工厂看做为成本价，而是不安全防护状况。

工厂安装尾气处理设备有三个主要原因：

独一、是健康的和健康，半导体材料、光伏系统和LED等厂家大量选择的方法有害气体是易燃性、易爆的如H2或SiH4，和这种一些防强酸强碱的如COF2，HBr，F2等，在人与人之间或野生植物生物接处此前应该实现处置。第二个、是非常多选用的其他气体对坏境是隐患的，如CF4，其使用年限约为 50,000年的氛围音乐，全球排名变热竟争力为二硫化碳的6.500倍。再次，是丰富印刷废气在暖湿气流中带有丰富的科粒或脏东西。 举例说明，这样脏东西常常在源于硅烷（SiH4）的沉淀工作中带来了，反馈的硅烷带来了是窝囊废的无比细的煤尘浓度的二空气氧化硅。 这样脏东西有应该混乱机 排气口，引发制作业PCB电路板工厂遇外停止。 使煤尘浓度不可操作的是孔径常常为亚毫米，但是易借助湿式洗洁器或物理学过滤水器而不被困与此，无法离开在洗洁液中。

因此，尾气处理设备是制造设施的重要组成部分。典型的尾气处理设备位于子晶圆厂中，放置在真空泵之后。工艺废气在无尘室机台端(POU)反应被排放出后，即由真空Pump抽至Local Scrubber做处理，避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏，局部聚积或相互反应。

待治理 后过的实验室气体再续接至厂务端中共中央治理 机系统做第二个道应急处置，以以减少厂务端影响物治理 上的负载，超过对半导体技术业空气当中影响管控及排污的规范标准。

底下的3点情况可是更多半导体行业、太阳能光伏和LED等生产的加工车间装配烟气进行外理生产的加工仪器的关键情况了，烟气进行外理生产的加工仪器的装配，就算最先有机废气物生态环境治理还有生产的加工安会等上，全都是生产的加工制造出中的必需品生产的加工仪器。感激您的看书！