TFT-LCD（塑料膜氯化钠晶体管液晶凸显信息凸显信息屏）就是种基本条件高技术，自三十五世际一百三几年间就开始民用型近一年来，它往事不要追为当今活不要或缺的分解成这部分，其应用软件远不仅限自动化液晶电视机和自动化触屏手机，它产生于企业定期活中的方的方面面：腕表（可佩带环保设备）、小家电、创意广告、标示牌、汽年等。这几天核心的介绍点一下凸显信息研制加工过程的需求要的珍禽气休，和 保障气休安全性高气流输送选用的特气机系统。

TFT体现 屏研发与半导体材料元器研发部分有非常多似的事例，造问：这二种研发的时候中都须得在应用一大批废气、造问制作工艺步聚中的火成岩、刻蚀、保养和添加，有着许多步聚在应用的废气的类型也都相对较似的。

这样有害甲烷固体中光电特种作业有害甲烷固体（ESG）还有硅烷、三氟化氮、氟（现象导致）、六氟化硫、氢防腐蚀钠已经磷化处理氢混合着物，占体现屏产生技术中安全适用有害甲烷固体的52％。表示动作的词硅烷：SiH4是体现屏产生技术中最重要的的有害甲烷固体中的一种，与氢防腐蚀钠（NH3）联系安全适用，变成中用非晶硅（a-Si）晶状体管的氮化硅层，与惰性气体（N2）联系安全适用，变成中用低温环境多晶硅（LTPS）晶状体管的预准碳原子二防腐蚀碳激光热处理非晶硅（a-Si），或与防腐蚀亚氮（N2O）联系安全适用变成金屬防腐蚀物（MO）晶状体管的防腐蚀硅层。

TFT-LCD中的特气系统

为保证TFT显示屏制造中易燃易爆、剧毒性和腐蚀性等危险性电子特种气体的安全使用，都会安装特气系统。特气系统由半导体SEMI S2认证的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP以及特气管道组成，保证如硅烷、笑气（N2O）等特种气体的安全输送。

综合上面的，TFT-LCD信息LED屏制做中PECVD（等铁离子体改善化学上的液相沉淀积累）、蚀刻、LTPS和MO晶胞管的产生都应该操作珍禽工艺气味，而特气操作系统中的SEMI S2认真的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP和特气传送管道保护珍禽工艺气味的可靠传送，并保护气味色度和不稳定性气压。