2021-01-08 14:00:18 责任编辑: 特气系统工程设计安装公司 0
四氟化碳(CF4)介绍:
四氟化碳(CF4)是种没颜色没有气味的甲烷气态,没有害物质、不燃性,但在高含量时兼备全麻用处,且挥发掉性较高,与可燃性甲烷气态自燃时,会拆分导致有害物质氟化物,兼备务必的安全性。在半导体行业、结合电路系统等手机產品产出中,等化合物外壁刻蚀是1种种所用的工序,是凭借具代表性的乙炔气組合转化成兼备热烈蚀刻性的气质联用等化合产品与产品外壁的有机质物基体情况生物学症状,转化成别的打比方CO,CO2,H2O等乙炔气,导致达成蚀刻的作用。四氟化碳是保证 刻蚀工作的1种规范乙炔气。四氟化碳(CF4)在电离回会会产生含盐酸的成分的刻蚀性液相等铁离子体,都可以对很多有机的会外表实现了刻蚀及有机的会物清除,在晶圆生产出、各线路板生产出、太阳什么能锂电池板生产出等餐饮行业中被广泛的操作。电子特气系统介绍:
智能特气设计由集中供热端(CF4是汽体液化气钢瓶集中供热)、GC特气柜/GR特气架、汽体的阀门都分配好箱VMB/VMP、耐高温性的316L EP不锈无缝钢管道和汽体评估报警灯设计等组成部分。电子特气被称为电子工业的“血液”,其纯度和清洁度直接影响着光电产品的质量、微电子元件的质量、集成度、的具体技术指标和良率,电子特气系统的作用就是保证各生产工艺的电子特气的纯度和安全稳定供应,从根本上保证了电子器件的准确性。
综上,电子四氟化碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾护航,保证四氟化碳(CF4)的纯度和安全稳定使用。