半导体材料行业生产加工工艺中硅烷（SiH4）一种特中的气体，在半导体材料行业企业中通常适用于做而成高纯多晶硅、凭借CVD（化工气相色谱仪形成）加工工艺做而成二氧化物硅膜、氮化硅膜、多晶硅隔离霜层、多晶硅欧姆接触的面积层和异质等。SiH4在选用回会造成的有机的废气处理，若是私自有机的废气处理处理机 处理就一直高氧化还原电位对外经济减排，对人和室内环境的极端与恶劣影响到是是无法估量的。

硅烷看作一些给出硅类物质的有毒实验室气体源，现象性和爆燃性减弱，有是宽的组织化大火范围内和很多的自燃激光能量，毒素很多，假设人吸多单硅烷也会减弱条件刺激吸气的器官，不是些高不安全性的有毒实验室气体。

在光电器件PCB电路板工厂中，因作业区域性一样 离核心摆放物工作系统远，从而尽量避免在烦杂的泄压阀过程中 中产生非目标的汽体液化气泄漏，局部位聚积等状况，硅烷（SiH4）摆放物从无尘灰室机台端(POU)作用被摆放出后，即先由真空度Pump抽至摆放物工作仪器Local Scrubber做工作，待工作事后的汽体再持续至厂务端做第二种道救治。

吸附式废气处理设备Local Scrubber处理尾气废气的特点？

1. 以物理吸附桶完成正确处理的设备烟气2. 是没有油火、脱尘室内不导致明火3. 节约开支生物质能源、没能高高能耗的消费需求4. 不是需要损耗水能源，也没有工业废水操作毛病5. 保障尾气排放正确治理 的安全管理性正确治理 历程中没得干扰6. 合理补救废塑料，不引响世界坏境

综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能造成人员伤亡或生产中断等巨大损失。同时，随着半导体工艺分工越发细微，应根据不同工艺衍生出来的气体特性，选择搭配合适的烟气解决生产设备Local Scrubber，才能更有效的解决废气问题。