半导体技术技术加工制造的生产中会实用到许多特种有机废气有害气体，伴随着产生了的特气氮氧化合物释放可先顺利通过氮氧化合物释放进行正确办理试验装置Local Scrubber做进行正确办理，再延续至厂务端做2道妥善办理第二排出。这样子是方便禁止在沉长的改装排气管进程中致使非预期的的有机废气有害气体用户名，边缘聚积或之间不起作用等出现意外，以才能减少厂务端废弃物物进行正确办理上的加热器端差，高达对半导体技术技术业空气的废弃物管理及释放的标，禁止对生态环境和近郊工人会造成威胁。

吸出式氮氧化合物清理传动装备Local Scrubber基本上要清理所以小热度的有害汽体（部门PFC有害汽体排除），此外颇为需不需要用火、不制造废渣、低用电量的耐腐蚀性特别，是特气氮氧化合物清理的较常用传动装备。

在吸附性物式排放解决系统设计 Local Scrubber 中吸附性物材以高孔喉率和高相对密度注射提升自己入口处出口到型压差大，之所以排放出口到型端扩大变頻新风机可发挥下类效用：

1、增加自己采用年限：变频柜轴流式风机可加剧抽气压，以加剧化剂添加比例，增加自己采用采用年限。2、维持有工作负压：定频风机电机电机可结合设置好有工作负压值或厂务端标准气压全自动懂得调整风机电机电机轉速，维持主设备内有工作负压值随和体客流量，保护治疗能力维持。3、解决分流：生产工艺中若具有刺激性易堵赛途径和化剂的尘土，PLC会遵循原则选用压强，手动设定压缩机转速比维护填报志愿机系统压强值，解决废气排放分流，形成机系统及设配影响。

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