在光电器件加工制作工艺制作工艺中，需用操作多种多样唯一性实验室汽体、大批量的酸、碱等耐腐蚀品或可挥发掉容剂和挥发掉性溶剂，这个实验室汽体和耐腐蚀品在光电器件营造的与众不同加工制作工艺中操作会带来尾气，这个尾气如果没能展开尾气解决主设备比较好的解决便展开释放，将导致难治的的问题，既损害消费者们的机体绿色，恶变大气生态周围环境生态周围环境，导致生态周围环境水废弃物的公害事情等，也会成為光电器件营造中AMC水废弃物的重要的主要来源。

半导体设备加工工艺加工工艺中引起的有机化学烟粉尘品类可能有：一般的其他气体有机化学烟粉尘、含毒副作用类元素的有机化学烟粉尘、有机化学有机化学烟粉尘和具有咸性/碱类元素的有机化学烟粉尘。

在包含有偏酸/偏酸性物品的有害气体，光电器件厂通常主要采用玄幻洗涤剂式党中心有害气体办理整体性来办理。但致使光电器件制作业运作领域离党中心有害气体办理整体性间隔距离远，故此区域偏酸/偏酸性有害气体在气力输送机至党中心有害气体办理整体性前，常因有害气体因素引致的在水管中结晶体或煤尘累积，引致水管空气能管道堵塞后引致的有害气离体泄，严重性者甚至于可能会导致着火，损害直播运作人工的运作安全可靠。

所以，在工作区域需配置适合制程气体特性的就地烟气操作环保设备进行就地处理，之后在排入中央处理系统，从而避免事故的发生，这就是为什么应就地配置废气处理设备的原因。