对于特种工艺气体而言，由于在芯片生产中需要与芯片接触并参与反应，因此需选用经电解抛光（Electro-Polish）处理的316L不锈钢管，即SS316L EP管，其耐腐蚀性好，表面粗糙度低，Ramax（最大表面粗糙度）<0.7微米。光滑的表面使颗粒无从吸附滞留，从而保证气体的纯度。

对常规氢气认为，在其并不当为生产工艺中的症状实验室气体，都就能够所用经光荣焙烧（Bright Anneal）处里的316L不锈铁管，即SS316L BA管，也都就能够主要采用经普通机械擦拭（Chemical Clean）处里的316L不锈铁管，即SS316L CC管。其Ramax为3-6纳米。