2020-12-07 11:51:18 责任编辑: 尾气处理设备设计制造厂商 0
选择尾气处理设备Local Scrubber 的原因:
在半导体材料工作工艺工作中,那些工作工艺后残存的乙炔气从脱尘室顺利依据抽真空管出现后,需经印刷废气排放处里专用设备(Local Scrubber)顺利依据焚烧或吸附剂式等技术引领处里,再流进中印刷废气处里装置。这是正因为半导体材料产量加工本职运作区域内离军委尾气办理装置化间距比较远,所以说这样尾气在运送至军委尾气办理装置化前,在繁琐的res排气阶段中,应该会正因为有机废气气物基本特征诱发产生非预期的的有机废气气物遗漏,小面积的聚积或互为反应迟钝,导致的管线堵赛、线路侵蚀等原因,造成者因此产生发生火灾爆出、中止产量和威胁直播 本职运作考生的本职运作安全性的后果严重。吸附式尾气处理设备的特点:
1.适用范围广。吸附式尾气处理设备几乎可处理所有小流量的废气。
通过上面的解释,相信您应该对半导体制造企业选择尾气处理设备(Local Scrubber)的原因有了些了解,社会的进步对半导体企业提出更高的环保要求,也促进国内半导体废气处理技术的进步和发展。感谢您的阅读!